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德國Technologie-Manufaktur顯微鏡分辨率測試板 TC-RT03
點擊次數(shù)：27 更新時間：2025-11-24
 

產(chǎn)品概述

德國Technologie-Manufaktur公司生產(chǎn)的TC-RT03 MAT是一款高精度的顯微鏡分辨率測試板，主要用于校準(zhǔn)、驗證和評估各類光學(xué)顯微鏡（如廣角鏡、激光掃描顯微鏡等）的分辨率、對比度和成像性能。其核心采用先進的電子束光刻技術(shù)制造，確保了納米級別的結(jié)構(gòu)精度，是光學(xué)實驗室和質(zhì)量控制中的基準(zhǔn)工具。

 

核心技術(shù)與優(yōu)勢

 

超高精度制造：采用電子束光刻技術(shù)直接在鉻層上燒蝕生成測試結(jié)構(gòu)，最小結(jié)構(gòu)尺寸可低至100納米，確保了佳的尺寸公差（低至14納米）和結(jié)構(gòu)邊緣的直線度。

 

優(yōu)異的光學(xué)性能：

 

基底材料：使用石英（熔融二氧化硅），提供從深紫外到近紅外（190nm - 2000nm）的極寬光譜透射范圍，適用于多種光源。

 

高對比度：鉻層提供了高的光密度，通過燒蝕形成的測試結(jié)構(gòu)是透明的，而背景是不透光的鉻層，從而產(chǎn)生極其銳利的高對比度圖像。

 

堅固耐用的設(shè)計：測試芯片被牢固地封裝在一個激光雕刻的不銹鋼支架（75mm x 25mm） 中，符合標(biāo)準(zhǔn)顯微鏡載玻片尺寸，便于操作和保存。

主要技術(shù)參數(shù)

 

參數(shù)項目 規(guī)格說明

產(chǎn)品型號 TC-RT03 MAT

有效基底 石英晶圓（熔融二氧化硅），尺寸：10mm x 10mm x 1.0mm

封裝支架 不銹鋼，尺寸：75mm x 25mm x 1.5mm

結(jié)構(gòu)層 鉻層，高光密度 (>3.6 @ 1µm)

關(guān)鍵結(jié)構(gòu) 可變線對（最高可達3300 LP/mm以上）、針孔陣列（20x20）、棋盤格、邊緣MTF區(qū)域

制造工藝 電子束光刻

光譜范圍 190納米 - 2000納米

可選配置 0.17mm ± 5µm 蓋玻片（專用于高倍物鏡）

主要應(yīng)用領(lǐng)域

 

顯微鏡校準(zhǔn)與分辨率測試：精確測量光學(xué)顯微鏡在不同放大倍數(shù)（從10x到100x物鏡）下的極限分辨率。

 

成像系統(tǒng)性能評估：用于評估包括激光掃描顯微鏡在內(nèi)的各種成像系統(tǒng)的調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）、對比度和像差。

 

科學(xué)研究與質(zhì)量控制：在生命科學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體檢測等領(lǐng)域，作為驗證儀器性能和確保測量一致性的標(biāo)準(zhǔn)件。

 

品牌與產(chǎn)品線

德國Technologie-Manufaktur 是一家在精密光學(xué)領(lǐng)域享有盛譽的制造商。除了高精度的分辨率測試板（定位板）外，其產(chǎn)品線還包括：

 

傳感器

 

攝像頭

 

遠程顯微鏡

 

總結(jié)

Technologie-Manufaktur的TC-RT03 MAT分辨率測試板集成了頂尖的制造工藝和優(yōu)質(zhì)材料，為光學(xué)成像領(lǐng)域提供了可靠且高精度的測量基準(zhǔn)。無論是用于前沿科學(xué)研究還是嚴格的工業(yè)質(zhì)量控制，它都是確保顯微鏡系統(tǒng)處于最佳工作狀態(tài)的理想工具。
 
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